3d轮廓仪
垂直分辨率（共聚焦）的临界尺寸。
系用规格
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测量阵列 |
1360 x 1024像素 |
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LED光源 |
红色（630纳米）; 绿色（530纳米）; 蓝色（460纳米）和白色（550纳米） |
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垂直测量范围 |
40毫米, 线性平台;200微米, 压电平台 |
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*垂直扫描范围 |
PSI20微米; ePSI100微米; VSI 10毫米;共聚焦和多焦面叠加37毫米 |
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Z平台线性度 |
线性平台<0.5微米/毫米，压电平台<30纳米/100微米（0.03％） |
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Z平台分辨率 |
2纳米, 线性平台;0.75纳米, 压电平台 |
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步高可重复性 |
<3纳米 |
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样品反射率 |
0.05 % to 100% |
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显示分辨率 |
0.001纳米 |
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系统 |
线电压100-240 V AC; 频率50/60 Hz单相 |
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计算机 |
*的INTEL处理器; 2560x1080像素分辨率（34“） |
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操作系统 |
64 位 Windows 10 操作系统 |
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环境 |
温度10ºC至35ºC; 湿度<80％RH; 海拔<2000米 |
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用户管理权限 |
管理员，主管，*操作员，操作员 |
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收购技术 |
共聚焦、PSI、ePSI、VSI和多焦面叠加 |
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测量类型 |
旋转3D、图像、3D、3D厚度、轮廓和坐标 |
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*软件分析 |
SensoMAP和SensoPRO（可选） |
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规范兼容性 |
ISO 25178-2:2012, 25178-3:2012, ISO 25178-603:2013, 25178-604:2013, 25178-606:2015, 25178-607 ISO 4287, 1101, 10360 |
